磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
可选附件：
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þ CCD或C-MOS视频成像装置
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统升级
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
þ 各类探针夹具
þ 屏蔽箱
þ 防振桌
þ 转接头
þ 静音真空泵
技术指标：
高低温真空磁场探针台
型号
T8-EM4
T8-EM5
T8-EM7
真空度
真空上等高达10-8Pa
腔体材质
无磁不锈钢或者铝合金
磁场范围
2000Gs @50mm
5000Gs@50mm
1T@50mm
磁场方向
水平（可按用户要求设计成竖直方向的）
配套电源
双极性电源±50A
双极性电源±70A
双极性电源±90A
电源稳定性
50ppm（可选10ppm）
制冷方式
液氦/液氮制冷/闭循环制冷机
温度范围
5K-325K可选500K
控温分辨率
0.001K控温仪相关
温度稳定性
优于0.1K依赖于控温仪
温度传感器
硅二极管/PT100/CernoxTM
传感器数量
样品台、防辐射屏、探针臂各一个
样品台尺寸（max）
Φ50mm，平整度≤7μm
样品台固定方式
真空硅脂/弹簧压片
样品台材质
镀金无氧铜
显微镜行程
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm
放大倍数
16~100X/20~4000X
真空腔观察窗尺寸
1inch
1.5inch
2inch
窗口材料
熔融石英（可选K9、氟化钙等）
探针臂数量
2、4、6、8可选
探针臂行程
(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更换
位移精度
10μm /2μm/1μm/0.7μm可选
接口形式
普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA等
探针直径
0.51mm
针尖直径
10μm/5μm/1μm可选
探针材料
钨/GGB
供电电压
AC220V 50Hz/60Hz
AC380V 50Hz/60Hz
注：北京太阳成集团tyc234cc有限公司接受任何形式的定制，精度高，周期短。
京公网安备 11010602006210号
