产品概述：
锦正茂高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持频率上达67GHz)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
应用范围：
高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
þ 多级压缩制冷机
þ 机械泵/分子泵组/离子泵
þ 射频部件
þ 各类型频率真空接头
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
þ 各类探针夹具
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
技术指标：
型号
T81-50探针台
T80-50探针台
制冷方式
液氦/液氮制冷
闭循环制冷机
腔体材质
无磁不锈钢或者铝合金
真空度
真空上等高达10-8Pa
真空腔观察窗尺寸
2inch（可选）
控温范围
4.2K-450K
5K-450K
控温分辨率
0.001K控温仪相关
温度稳定性
0.1K控温仪相关
降温时间
40min
150min内，视制冷机功率定
温度传感器
硅二极管、PT100（3个，样品台和探针臂和防辐射屏上各一个）
加热电源
LVDC 低压直流
样品台材质
镀金无氧铜
样品台尺寸
直径20-50mm，可选100mm
样品台平整度
≤7μm
样品台固定方式
固定的样品台（可升级随位移台移动）
样品台振动级别
≤50纳米
≤1μm（三级减震）
探针臂数量
2个、4个、6个、8个可选
探针臂机械精度
±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm（可选）
探针种类
钨、铍铜、微波探针（可选高达67GHz的GSG探针）
探针调节
真空波纹管外部调节，手动控制
放大倍数
16~100X/20~4000X
显微镜行程
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm
电力需求
220V 50-60Hz
京公网安备 11010602006210号
