北京太阳成集团tyc234cc有限公司提供的一维 、二维 、三维磁场探针台，采用无磁材料制成，一维 、二维 、三维三对亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间一维 、二维 、三维磁场。线圈可采用风冷（磁场较小）也可采用水冷结构（磁场较大），并且配备有线圈过热保护装置。和锦正茂生产的高精度双极性直流电源配合使用可以长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板上按键控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þ CCD或C-MOS视频成像装装置
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统升级
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
þ 各类探针夹具
þ 屏蔽箱
þ 防振桌
þ 转接头
þ 静音真空泵
技术指标：
三维磁场探针台
型号
T8-500-3
T8-300-3
T8-100-3
材质
所选材料均为无磁材质
磁场范围
500Gs
300Gs
100GS
线圈材质
耐高温漆包线
磁场均匀性
中心区50毫米球体内1%
电源稳定性
三台高精度直流电源 50ppm可选10ppm
磁场分辨率
0.05 mT
角度分辨率
0.02°
样品固定方式
吸盘或者压片
样品台直径
50mm可定制
显微镜
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm，可选加载激光
放大倍数
16~100X/20~4000X
探针臂数量
2、4可选
探针臂行程
25mm-25mm-12mm可更换
探针臂移动精度
10μm /2μm/1μm/0.7μm可选
探针长度
38mm
探针直径
0.51mm
针尖直径
10μm/5μm/1μm
探针材料
钨/铍铜/GGB
漏电精度
100fA
京公网安备 11010602006210号
